半导体、晶片、集成电路超净间

为了满足一些对质控要求高的工业车间生产环境，很多企业选择建设无尘车间。精密制造工业以半导体、晶片、集成电路等制造工艺的需求设置无尘室，业内也叫超净间。这种无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，这些制造品类的无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

半导体、晶片、集成电路超净间的建设专业度高且程序复杂，要打造真正意义上满足标准且适合工艺流程的超净间包含多种专业维度的建设内容。譬如：建筑构造、内部平面、工艺布置、装饰装修、人员和物料净化、暖通系统建设、自控系统建设、通排风系统建设、气体供应系统建设、管网建设等。

电子工业超净间【集成电路/半导体超净间】建设环节较为复杂，我们摘出在半导体超净间建设环节中，暖通系统和气体供应系统的建设相关内容加以概述。

一、半导体、晶片、集成电路超净间暖通系统设计要点：

1.半导体、晶片、集成电路超净间多以万级（局部百级）为设计目的。要达到这样的标准，就必须选择高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器，对进入无尘车间的空气，进行一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。

2.除了考虑洁净的空气送风外，还要考虑合理的气流分布流型。譬如在工作区应避免涡流区就一个尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。

3.要根据无尘车间的规格大小来选择合适的送风设备，达到足够的送风量，以达到可以稀释空气的含尘浓度，又能保证有稳定气流流型的目的。

二、半导体、晶片、集成电路超净间供气系统设计要点：

在工艺技术较为先进的半导体晶圆工厂的制造过程中，工艺步骤达几百道，前后要使用几十种不同种类的气体。易纳瑞在设计电子工业超净间【集成电路/半导体超净间】过程中会依据行业特色和自身经验判断用哪种供气方式更适合。譬如晶圆半导体超净车间，会推荐采用外购气体钢瓶或钢瓶组来输送供气，有易燃性气体、毒性气体、腐蚀性气体、惰性气体、氧化性气体组成的多种类特种气体需求的，选择这种方式会节省投资，且拥有使用方式灵活的优点，电耗及制气成本相对也比较低廉。缺点是在气体输送的过程中气体比较容易受到污染，对后期就整个供应系统的管理和维护要求较高。

在半导体、晶片、集成电路这类电子工业超净间建设过程中，因为工艺复杂对环境要求高。要在一定空间内清除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，控制室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和气流分布，将噪声振动和照明、静电控制在一定需求范围内，需要平面设计师和各技术段工程师非常精密的计算与合作，易纳瑞EPC集成服务商的集成服务优势在这里可以比较明显的体现出来。设计团队、技术团队和项目施工团队已经过多年磨合，对工程建设的理念和进度配合都达成比较一致的思维，往往能在保质保量地完成工程建设的同时，将节能与实用性做充分的融合。

三、半导体、晶片、集成电路超净间装修要点

1．半导体、晶片、集成电路超净间装修时物料净化用室与洁净室（区）之间应设置气闸室或传递窗。

2．按火灾危险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或房间之间，或有防火分隔要求时，应设隔墙。

3．单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于65dB（A），非单向流洁净室（区）的噪声级（空态）不应大于60dB（A）。

四、半导体、晶片、集成电路超净间厂房的耐火等级不应低于二级。

在电子工厂的综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。不燃烧体隔断设施应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》的有关规定。

五、半导体、晶片、集成电路超净间内设置真空泵时，应符合下列规定：

1．电子工厂装修对于传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。

2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。

3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

六、半导体、晶片、集成电路超净间的安全出口的设置，应符合下列规定：

1．丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于规定的安全疏散距离的1.5倍。

2．工厂装修时要给每一生产层、每个防火区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》的有关规定。

3．安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗。

七、半导体、晶片、集成电路超净间工程的人流物流设计

一）人流设计

1．人员净化

2．工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室。

3．空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。

4．空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施。

5．单人空气吹淋室，应按大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门。

二）物流设计

1．工厂装修物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。

2．洁净室内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。